Q.
공정에서 어떤방식으로 yield관리가가능한것인가여?
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반도체에서 공정에서 불량이생겼을때 어떤방식으로 불량률을
줄여나갈수있는지궁금해요.
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Q.
공정에서 어떤방식으로 yield관리가가능한것인가여?
반도체에서 공정에서 불량이생겼을때 어떤방식으로 불량률을
줄여나갈수있는지궁금해요.
알돌이 님이 감사의 마음으로 쾌남가이루님께 1,000알을 증정했어요!
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반도체 공정에서 **yield 관리는 “불량을 어떻게 빨리 찾고, 원인을 정확히 제거하느냐”**의 싸움입니다.
크게 보면 측정 → 분석 → 제어 → 재발 방지 흐름으로 관리합니다.
1) 모니터링·계측 강화
CD-SEM, 결함 검사, 공정 모니터 웨이퍼로 이상 징후를 조기 감지합니다.
2) SPC(통계적 공정 관리)
공정 변수(온도·압력·가스·시간)를 관리 한계 내 유지해 드리프트를 즉시 차단합니다.
3) 불량 분석(FA)
전기적 불량 → 물리 분석(FIB, TEM)으로 Root cause를 특정합니다.
4) 공정 조건 최적화
Recipe 튜닝, 장비 매칭, 소스·소모품 관리로 변동성 감소.
5) 피드백·피드포워드 제어
전 공정 결과를 다음 공정에 반영해 누적 오차를 줄입니다.
결국 yield 개선은 한 번에 고치는 게 아니라, 반복적으로 좁혀가는 과정입니다.
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반도체 공정에서 yield 관리는 불량률을 줄이고 생산 효율을 높이는 핵심 과정은 크게 몇 가지로 나눌 수 있어요.
즉, 데이터 기반 관리 + 원인 분석 + 공정 최적화가 핵심이에요.
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